韓国企業が注視…日本の「コスパEUV」装備、ASMLの独占構図を崩せるか 業界関係者によれば、沖縄科学技術大学院大学（OIST）は最近、ASMLのEUV装置よりも、構造が簡素で、製造コストを抑えた新型EUV装置を開発した。 この装置は、従来の6枚の光学反射鏡を使用する装置とは異なり、2枚の反射鏡のみを使用するなど、構造を単純化した。これにより、半導体生産の信頼性を高め、維持管理の複雑さを軽減することが特徴だ。 やりましたねOIST😂 最初のニュース記事はひと月くらい前だったかな😉 問い合わせがひっきりなしでしょうね😎 https://news.yahoo.co.jp/articles/7ea3e8ea006de72f216be50b9ae3b46bd451d3f4